• 气体纯化器
    Gas Purifier
  • 大宗特殊气体/气瓶柜/阀箱
    BSGS/GC/VMB
  • 干式除害装置
    Dry Scrubber
  • 紧急除害装置
    EMO Scrubber

高纯度气体纯化器

低温H2纯化器 NO1世界第一!

台湾以及中国、韩国的一流LED厂商都有采用本公司的气体纯化器,在半导体产业也被许多客户持续爱戴使用。近年来,随着MOCVD大型化,本公司的低温氢气纯化器销售更是飞跃般增加。本公司的纯化器工厂长年在日本制造,在移设至台湾设厂后,集合最新的分析装置技术获得更多客户信赖。

WINDY系列

GC、BSGS、VMB/P

本公司生产的气瓶柜WINDY系列遵守美国SEMI GAS规定,并融合日本技术生产。大阳日酸熟知特殊气体的特性,以其丰富经验加以结合技术生产的WIND系列,可以安全且稳定的供应,达到客户的期望。

型号 WINDY-1000 WINDY-1100&1200
2个气瓶型(W x D x H) 635 x 510 x 2.180 750 x 510 x 2.250
3个气瓶型(W x D x H) 1.015 x510 x 2.180 1.200 x 510 x 2.250
4个气瓶型(W x D x H) 1.270 x 510 x 2.180 1.500 x 510 x 2.250

VEGACLEAN JGT系列

针对处理对象气体,通过与最佳的干式除害剂的组合可靠的进行废气处理。从研究用的小规模装置到制造工厂用的大型装置,可根据客户需求提供种类丰富的装置。

  • 1.可通过干式药剂将半导体材料气体进行化学式固定,因此能可靠的进行无害化处理。
  • 2.M型是采用了装有双筒除害桶的切换方式,可以长期持续性的进行无害化处理。
  • 3.由于是简单的干式工艺装置,省去了排水等设备。

単塔型 JGT20S JGT60S JGT100S
複搭型 JGT20M JGT60M JGT100M

VEGA-ES系列

万一在半导体材料气体钢瓶搁置场地及气体柜内等发生毒气体泄漏时,为了不像大气扩散而进行处理的紧急处理装置

特长

  • 1使用了高处理能力的最新型干式除害剂。
  • 2.从5型到110型,为客户提供丰富的产品装置。还可以按照各种用途选择无旁通的A型,带旁通的B型两种机型。
  • 3.充分考虑的节省空间的小型化设计。

对象气体

  • 金属氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
  • 卤素类--BC13、HC1、BF3、F2等

对象气体

  • 原则上可以处理1只对象钢瓶的量。 (详细请另行商量)。

表所记为VEGA-ES型除害塔之规格。

型式 有效充填量[L]
充填高度300mmH
最大充填量[L]
充填高度650mmH
断面积[m2]
2 84 182 0.28
20 333 721.5 1.11
30 507 1098.5 1.69
40 666 1443 2.22
60 972 2106 3.24
70 1200 2600 4.00
110 1833 3971.5 6.11