系统
● 型号
气体 | 型号 | 处理容量 (Nm3/h) |
---|---|---|
O2 | TPOP-1000 ( 标准型 ) | 2~100 |
● 纯化系统
CH4、CO、H2 透过触媒氧化成CO2、H2O 后透过吸附剂去除。
● 纯化原理(Getter)
2CO+O2 →2CO2
CH4 +2O2 →CO2 +2H2O
2H2 +O2 →2H2O
流程图
保证规格
TPOP | 入口 | 出口 |
---|---|---|
ppb | ppb | |
CH4 | 30000 | ≦ 0.1 |
CO2 | 2000 | ≦ 0.1 |
CO | 1000 | ≦ 0.5 |
H2 | 1000 | ≦ 0.5 |
H2O | 2600 | ≦ 0.5 |
微粒 | - | ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm |
压力 | 0.5MPaG | ≧ 0.4MPaG |
*TPKP 型可净化空气。
*非标准规格请与我们联系确认。
GC、BSGS、VMB/P
本公司的气瓶柜,WINDY系列,美国城堡气体店与日本的技术合作因而诞生了。 大阳日酸是熟悉特殊气体并具有丰富经验技术的WINDY系列。安全、稳定供给为回应顾客的要求
规格
型号 | WINDY-1000 | WINDY-1100&1200 |
---|---|---|
2个气瓶型(W x D x H) | 635 x 510 x 2.180 | 750 x 510 x 2.250 |
3个气瓶型(W x D x H) | 1.015 x510 x 2.180 | 1.200 x 510 x 2.250 |
4个气瓶型(W x D x H) | 1.270 x 510 x 2.180 | 1.500 x 510 x 2.250 |
针对处理对象气体,通过与最佳的干式除害剂的组合可靠的进行废气处理。从研究用的小规模装置到制造工厂用的大型装置,可根据客户需求提供种类丰富的装置。
WINDY-BS系列
JGS-S型筒图
単塔型 | JGT20S | JGT60S | JGT100S |
---|---|---|---|
複搭型 | JGT20M | JGT60M | JGT100M |
万一在半导体材料气体钢瓶搁置场地及气体柜内等发生毒气体泄漏时,为了不像大气扩散而进行处理的紧急处理装置
特长
对象气体
对象气体
VEGA-ES B型筒图