- 气体纯化器
Gas Purifier - 大宗特殊气瓶柜/气瓶架
BSGS | Gas Cabinet/Rack - 干式除害装置
Dry Scrubber - 紧急除害装置
EMO Scrubber
高纯度气体纯化器 - 氧气纯化器(TPOP)
系统
● 型号
| 气体 | 型号 | 处理容量 (Nm3/h) |
|---|---|---|
| O2 | TPOP-1000 ( 标准型 ) | 2~100 |
● 纯化系统
CH4、CO、H2 透过触媒氧化成CO2、H2O 后透过吸附剂去除。
● 纯化原理(Getter)
2CO+O2 →2CO2
CH4 +2O2 →CO2 +2H2O
2H2 +O2 →2H2O
流程图
保证规格
| TPOP | 入口 | 出口 |
|---|---|---|
| ppb | ppb | |
| CH4 | 30000 | ≦ 0.1 |
| CO2 | 2000 | ≦ 0.1 |
| CO | 1000 | ≦ 0.5 |
| H2 | 1000 | ≦ 0.5 |
| H2O | 2600 | ≦ 0.5 |
| 微粒 | - | ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm |
| 压力 | 0.5MPaG | ≧ 0.4MPaG |
＊TPKP 型可净化空气。
＊非标准规格请与我们联系确认。
WINDY系列
GC、BSGS、VMB/P
本公司的气瓶柜，WINDY系列，美国城堡气体店与日本的技术合作因而诞生了。 大阳日酸是熟悉特殊气体并具有丰富经验技术的WINDY系列。安全、稳定供给为回应顾客的要求
规格
- WINDY-1000系列:基础型(对应SEMI-S2)
- WINDY-1100系列:低成本型(不对应SEMI-S2)
- WINDY-1200系列:低成本型(对应SEMI-S2)
| 型号 | WINDY-1000 | WINDY-1100&1200 |
|---|---|---|
| 2个气瓶型(W x D x H) | 635 x 510 x 2.180 | 750 x 510 x 2.250 |
| 3个气瓶型(W x D x H) | 1.015 x510 x 2.180 | 1.200 x 510 x 2.250 |
| 4个气瓶型(W x D x H) | 1.270 x 510 x 2.180 | 1.500 x 510 x 2.250 |
VEGACLEAN JGT系列
针对处理对象气体，通过与最佳的干式除害剂的组合可靠的进行废气处理。从研究用的小规模装置到制造工厂用的大型装置，可根据客户需求提供种类丰富的装置。
WINDY-BS系列
- 1.可通过干式药剂将半导体材料气体进行化学式固定，因此能可靠的进行无害化处理。
- 2.M型是采用了装有双筒除害桶的切换方式，可以长期持续性的进行无害化处理。
- 3.由于是简单的干式工艺装置，省去了排水等设备。
JGS-S型筒图
| 単塔型 | JGT20S | JGT60S | JGT100S |
|---|---|---|---|
| 複搭型 | JGT20M | JGT60M | JGT100M |
VEGA-ES系列
万一在半导体材料气体钢瓶搁置场地及气体柜内等发生毒气体泄漏时，为了不像大气扩散而进行处理的紧急处理装置
特长
- 1使用了高处理能力的最新型干式除害剂。
- 2.从5型到40型，为客户提供丰富的产品装置。还可以按照各种用途选择无旁通的A型，带旁通的B型两种机型。
- 3.充分考虑的节省空间的小型化设计。
对象气体
- 金属氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
- 卤素类--BC13、HC1、BF3、F2等
对象气体
- 原则上可以处理1只对象钢瓶的量。 (详细请另行商量)。
VEGA-ES B型筒图
