• 气体纯化器
    Gas Purifier
  • 大宗特殊气瓶柜/气瓶架
    BSGS | Gas Cabinet/Rack
  • 干式除害装置
    Dry Scrubber
  • 紧急除害装置
    EMO Scrubber

高纯度气体纯化器 - 低温氢气纯化器 TPHL

系统

● 型号

气体 型号 处理容量 (Nm3/h)
H2 TPHL-1000 ( 标准型 ) 10~500

● 纯化系统

CH4、CO、N2、O2、CO2、H2O 透过低温吸附剂去除。

流程图

保证规格

TPHL 入口 出口
  ppb ppb
O2 5000 ≦ 1
CO2 1000 ≦ 0.1
CO 1000 ≦ 0.1
CH4 1000 ≦ 0.1
N2 50000 ≦ 0.1
H2O 10000 ≦ 0.5
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
压力 0.7MPaG ≧ 0.6MPaG

*非标准规格请与我们联系确认。

WINDY系列

GC、BSGS、VMB/P

本公司的气瓶柜,WINDY系列,美国城堡气体店与日本的技术合作因而诞生了。 大阳日酸是熟悉特殊气体并具有丰富经验技术的WINDY系列。安全、稳定供给为回应顾客的要求

规格

  • WINDY-1000系列:基础型(对应SEMI-S2)
  • WINDY-1100系列:低成本型(不对应SEMI-S2)
  • WINDY-1200系列:低成本型(对应SEMI-S2)
型号 WINDY-1000 WINDY-1100&1200
2个气瓶型(W x D x H) 635 x 510 x 2.180 750 x 510 x 2.250
3个气瓶型(W x D x H) 1.015 x510 x 2.180 1.200 x 510 x 2.250
4个气瓶型(W x D x H) 1.270 x 510 x 2.180 1.500 x 510 x 2.250

VEGACLEAN JGT系列

针对处理对象气体,通过与最佳的干式除害剂的组合可靠的进行废气处理。从研究用的小规模装置到制造工厂用的大型装置,可根据客户需求提供种类丰富的装置。

WINDY-BS系列

  • 1.可通过干式药剂将半导体材料气体进行化学式固定,因此能可靠的进行无害化处理。
  • 2.M型是采用了装有双筒除害桶的切换方式,可以长期持续性的进行无害化处理。
  • 3.由于是简单的干式工艺装置,省去了排水等设备。

JGS-S型筒图

単塔型 JGT20S JGT60S JGT100S
複搭型 JGT20M JGT60M JGT100M

VEGA-ES系列

万一在半导体材料气体钢瓶搁置场地及气体柜内等发生毒气体泄漏时,为了不像大气扩散而进行处理的紧急处理装置

特長

  • 1使用了高处理能力的最新型干式除害剂。
  • 2.从5型到40型,为客户提供丰富的产品装置。还可以按照各种用途选择无旁通的A型,带旁通的B型两种机型。
  • 3.充分考虑的节省空间的小型化设计。

对象气体

  • 金属氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
  • 卤素类--BC13、HC1、BF3、F2等

对象气体

  • 原则上可以处理1只对象钢瓶的量。 (详细请另行商量)。

VEGA-ES B型筒图