• 氣體純化器
    Gas Purifier
  • 大宗特殊氣體/氣瓶櫃/閥箱
    BSGS/GC/VMB
  • 乾式除害裝置
    Dry Scrubber
  • 緊急除害裝置
    EMO Scrubber

高純度氣體純化器

低溫H2純化器 NO1世界第一!

台灣以及中國、韓國的一流LED廠商都有採用本公司的氣體純化器,在半導體產業也被許多客戶持續愛戴使用。近年來,隨著MOCVD大型化,本公司的低溫氫氣純化器銷售更是飛躍般增加。本公司的純化器工廠長年在日本製造,在移設至台灣設廠後,集合最新的分析裝置技術獲得更多客戶信賴。

WINDY系列

GC、BSGS、VMB/P

本公司生產的氣瓶櫃WINDY系列遵守美國SEMI GAS規定,並融合日本技術生產。 大陽日酸熟知特殊氣體的特性,以其豐富經驗加以結合技術生產的WIND系列,可以安全且穩定的供應,達到客戶的期望。

型號 WINDY-1000 WINDY-1100&1200
2個氣瓶型(W x D x H) 635 x 510 x 2.180 750 x 510 x 2.250
3個氣瓶型(W x D x H) 1.015 x510 x 2.180 1.200 x 510 x 2.250
4個氣瓶型(W x D x H) 1.270 x 510 x 2.180 1.500 x 510 x 2.250

VEGACLEAN JGT系列

針對處理對象氣體,通過與最佳的乾式除害劑的組合可靠的進行廢氣處理。從研究用的小規模裝置到製造工廠用的大型裝置,可根據客戶需求提供種類豐富的裝置。

  • 1.可通過乾式藥劑將半導體材料氣體進行化學式固定,因此能可靠的進行無害化處理。
  • 2.M型是採用了裝有雙筒除害桶的切換方式,可以長期持續性的進行無害化處理。
  • 3.由於是簡單的乾式工藝裝置,省去了排水等設備。

単塔型 JGT20S JGT60S JGT100S
複搭型 JGT20M JGT60M JGT100M

VEGA-ES系列

萬一在半導體材料氣體鋼瓶擱置場地及氣體櫃內等發生毒氣體洩漏時,為了不像大氣擴散而進行處理的緊急處理裝置

特長

  • 1使用了高處理能力的最新型乾式除害劑。
  • 2.從5型到110型,為客戶提供豐富的產品裝置。還可以按照各種用途選擇無旁通的A型, 帶旁通的B型兩種機型。
  • 3.充分考慮的節省空間的小型化設計。

對象氣體

  • 金屬氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
  • 鹵素類--BC13、HC1、BF3、F2等

對象氣體

  • 原則上可以處理1只對象鋼瓶的量。(詳細請另行商量)。

表所記為VEGA-ES型除害塔之規格。

型式 有效充填量[L]
充填高度300mmH
最大充填量[L]
充填高度650mmH
斷面積[m2]
2 84 182 0.28
20 333 721.5 1.11
30 507 1098.5 1.69
40 666 1443 2.22
60 972 2106 3.24
70 1200 2600 4.00
110 1833 3971.5 6.11