- 氣體純化器
Gas Purifier - 大宗特殊氣瓶櫃/氣瓶架
BSGS | Gas Cabinet/Rack - 乾式除害裝置
Dry Scrubber - 緊急除害裝置
EMO Scrubber
高純度氣體純化器 - 低溫氫氣純化器 TPHL
系統
● 型號
| 氣體 | 型號 | 處理容量 (Nm3/h) |
|---|---|---|
| H2 | TPHL-1000 ( 標準型 ) | 10~500 |
● 純化系統
CH4、CO、N2、O2、CO2、H2O 透過低溫吸附劑去除。
流程圖
保證規格
| TPHL | 入口 | 出口 |
|---|---|---|
| ppb | ppb | |
| O2 | 5000 | ≦ 1 |
| CO2 | 1000 | ≦ 0.1 |
| CO | 1000 | ≦ 0.1 |
| CH4 | 1000 | ≦ 0.1 |
| N2 | 50000 | ≦ 0.1 |
| H2O | 10000 | ≦ 0.5 |
| 微粒 | - | ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm |
| 壓力 | 0.7MPaG | ≧ 0.6MPaG |
＊非標準規格請與我們聯繫確認。
WINDY系列
GC、BSGS、VMB/P
本公司的氣瓶櫃，WINDY系列，美國城堡氣體店與日本的技術合作因而誕生了。 大陽日酸是熟悉特殊氣體並具有豐富經驗技術的WINDY系列。安全、穩定供給為回應顧客的要求
規格
- WINDY-1000系列:基礎型(對應SEMI-S2)
- WINDY-1100系列:低成本型(不對應SEMI-S2)
- WINDY-1200系列:低成本型(對應SEMI-S2)
| 型號 | WINDY-1000 | WINDY-1100&1200 |
|---|---|---|
| 2個氣瓶型(W x D x H) | 635 x 510 x 2.180 | 750 x 510 x 2.250 |
| 3個氣瓶型(W x D x H) | 1.015 x510 x 2.180 | 1.200 x 510 x 2.250 |
| 4個氣瓶型(W x D x H) | 1.270 x 510 x 2.180 | 1.500 x 510 x 2.250 |
VEGACLEAN JGT系列
針對處理對象氣體，通過與最佳的乾式除害劑的組合可靠的進行廢氣處理。從研究用的小規模裝置到製造工廠用的大型裝置，可根據客戶需求提供種類豐富的裝置。
WINDY-BS系列
- 1.可通過乾式藥劑將半導體材料氣體進行化學式固定，因此能可靠的進行無害化處理。
- 2.M型是採用了裝有雙筒除害桶的切換方式，可以長期持續性的進行無害化處理。
- 3.由於是簡單的乾式工藝裝置，省去了排水等設備。
JGS-S型筒圖
| 単塔型 | JGT20S | JGT60S | JGT100S |
|---|---|---|---|
| 複搭型 | JGT20M | JGT60M | JGT100M |
VEGA-ES系列
萬一在半導體材料氣體鋼瓶擱置場地及氣體櫃內等發生毒氣體洩漏時，為了不像大氣擴散而進行處理的緊急處理裝置
特長
- 1使用了高處理能力的最新型乾式除害劑。
- 2.從5型到40型，為客戶提供豐富的產品裝置。還可以按照各種用途選擇無旁通的A型， 帶旁通的B型兩種機型。
- 3.充分考慮的節省空間的小型化設計。
對象氣體
- 金屬氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
- 鹵素類--BC13、HC1、BF3、F2等
對象氣體
- 原則上可以處理1只對象鋼瓶的量。(詳細請另行商量)。
VEGA-ES B型筒圖
