系統
● 型號
氣體 | 型號 | 處理容量 (Nm3/h) |
---|---|---|
H2 | TPHL-1000 ( 標準型 ) | 10~500 |
● 純化系統
CH4、CO、N2、O2、CO2、H2O 透過低溫吸附劑去除。
流程圖
保證規格
TPHL | 入口 | 出口 |
---|---|---|
ppb | ppb | |
O2 | 5000 | ≦ 1 |
CO2 | 1000 | ≦ 0.1 |
CO | 1000 | ≦ 0.1 |
CH4 | 1000 | ≦ 0.1 |
N2 | 50000 | ≦ 0.1 |
H2O | 10000 | ≦ 0.5 |
微粒 | - | ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm |
壓力 | 0.7MPaG | ≧ 0.6MPaG |
*非標準規格請與我們聯繫確認。
GC、BSGS、VMB/P
本公司的氣瓶櫃,WINDY系列,美國城堡氣體店與日本的技術合作因而誕生了。 大陽日酸是熟悉特殊氣體並具有豐富經驗技術的WINDY系列。安全、穩定供給為回應顧客的要求
規格
型號 | WINDY-1000 | WINDY-1100&1200 |
---|---|---|
2個氣瓶型(W x D x H) | 635 x 510 x 2.180 | 750 x 510 x 2.250 |
3個氣瓶型(W x D x H) | 1.015 x510 x 2.180 | 1.200 x 510 x 2.250 |
4個氣瓶型(W x D x H) | 1.270 x 510 x 2.180 | 1.500 x 510 x 2.250 |
針對處理對象氣體,通過與最佳的乾式除害劑的組合可靠的進行廢氣處理。從研究用的小規模裝置到製造工廠用的大型裝置,可根據客戶需求提供種類豐富的裝置。
WINDY-BS系列
JGS-S型筒圖
単塔型 | JGT20S | JGT60S | JGT100S |
---|---|---|---|
複搭型 | JGT20M | JGT60M | JGT100M |
萬一在半導體材料氣體鋼瓶擱置場地及氣體櫃內等發生毒氣體洩漏時,為了不像大氣擴散而進行處理的緊急處理裝置
特長
對象氣體
對象氣體
VEGA-ES B型筒圖