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高純度氣體純化器 - 氫氣純化器 TPHP

系統

● 型號

氣體 型號 處理容量 (Nm3/h)
H2 TPHP-1000 ( 標準型 ) 3~100

● 純化系統

O2、 CO 透過觸媒去除, CO2、H2O 透過吸附劑去除。

● 純化原理 ( 觸媒 / 吸附 )

純化 : 2Ni+O2→2NiO Ni+CO→Ni(CO)

再生 : NiO+H2→Ni+H2O Ni(CO)+3H2→Ni+CH4+H2O

流程圖

保證規格

TPHP 入口 出口
  ppb ppb
O2 5000 ≦ 1
CO2 1000 ≦ 1
CO 1000 ≦ 1
H2O 10000 ≦ 1
微粒 - ≦ 1pcs/cft, ≧ 0.1μm
壓力 0.5MPaG ≧ 0.4MPaG

*非標準規格請與我們聯繫確認。

WINDY系列

GC、BSGS、VMB/P

本公司的氣瓶櫃,WINDY系列,美國城堡氣體店與日本的技術合作因而誕生了。 大陽日酸是熟悉特殊氣體並具有豐富經驗技術的WINDY系列。安全、穩定供給為回應顧客的要求

規格

  • WINDY-1000系列:基礎型(對應SEMI-S2)
  • WINDY-1100系列:低成本型(不對應SEMI-S2)
  • WINDY-1200系列:低成本型(對應SEMI-S2)
型號 WINDY-1000 WINDY-1100&1200
2個氣瓶型(W x D x H) 635 x 510 x 2.180 750 x 510 x 2.250
3個氣瓶型(W x D x H) 1.015 x510 x 2.180 1.200 x 510 x 2.250
4個氣瓶型(W x D x H) 1.270 x 510 x 2.180 1.500 x 510 x 2.250

VEGACLEAN JGT系列

針對處理對象氣體,通過與最佳的乾式除害劑的組合可靠的進行廢氣處理。從研究用的小規模裝置到製造工廠用的大型裝置,可根據客戶需求提供種類豐富的裝置。

WINDY-BS系列

  • 1.可通過乾式藥劑將半導體材料氣體進行化學式固定,因此能可靠的進行無害化處理。
  • 2.M型是採用了裝有雙筒除害桶的切換方式,可以長期持續性的進行無害化處理。
  • 3.由於是簡單的乾式工藝裝置,省去了排水等設備。

JGS-S型筒圖

単塔型 JGT20S JGT60S JGT100S
複搭型 JGT20M JGT60M JGT100M

VEGA-ES系列

萬一在半導體材料氣體鋼瓶擱置場地及氣體櫃內等發生毒氣體洩漏時,為了不像大氣擴散而進行處理的緊急處理裝置

特長

  • 1使用了高處理能力的最新型乾式除害劑。
  • 2.從5型到40型,為客戶提供豐富的產品裝置。還可以按照各種用途選擇無旁通的A型, 帶旁通的B型兩種機型。
  • 3.充分考慮的節省空間的小型化設計。

對象氣體

  • 金屬氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
  • 鹵素類--BC13、HC1、BF3、F2等

對象氣體

  • 原則上可以處理1只對象鋼瓶的量。(詳細請另行商量)。

VEGA-ES B型筒圖