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特殊氣體供應與分配系統

整合GC氣瓶櫃、VMB與BSGS等設備配置，建立特殊氣體供應與機台端分配架構。

服務項目

系統工程

特殊氣體系統

產品介紹| Product description |

半導體、LED業界等電子產業都使用帶毒性、腐蝕性的特殊氣體。為了使這些危險氣體能夠安心的使用，我們充分了解氣體的物理及化學特性，在此之下提供特殊氣體配管、氣瓶櫃及警報設備。

台灣日酸系統科技股份有限公司

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