系统工程
VEGACLEAN JGT系列
针对处理对象气体，通过与最佳的干式除害剂的组合可靠的进行废气处理。从研究用的小规模装置到制造工厂用的大型装置，可根据客户需求提供种类丰富的装置。
1.可通过干式药剂将半导体材料气体进行化学式固定，因此能可靠的进行无害化处理。
2.M型是采用了装有双筒除害桶的切换方式，可以长期持续性的进行无害化处理。
3.由于是简单的干式工艺装置，省去了排水等设备。
| 单塔型 | JGT20S | JGT60S | JGT100S |
|---|---|---|---|
| 复塔型 | JGT20MH) | JGT60M | JGT100M |
