系统工程
VEGA-ES系列
万一在半导体材料气体钢瓶搁置场地及气体柜内等发生毒气体泄漏时，为了不像大气扩散而进行处理的紧急处理装置
特长
1使用了高处理能力的最新型干式除害剂。
2.从5型到110型，为客户提供丰富的产品装置。还可以按照各种用途选择无旁通的A型， 带旁通的B型两种机型。
3.充分考虑的节省空间的小型化设计。
对象气体
金属氧化物--Ash3、PH3、B2H6、Sih4、Sih6、H2Se、GeH4等。
卤素类--BC13、HC1、BF3、F2等
对象气体
原则上可以处理1只对象钢瓶的量。(详细请另行商量)。
表所记为VEGA-ES型除害塔之规格。
| 型式 | 有效充填量[L] 充填高度300mmH |
最大充填量[L] 充填高度650mmH |
断面积[m2] |
|---|---|---|---|
| 2 | 84 | 182 | 0.28 |
| 20 | 333 | 721.5 | 1.11 |
| 30 | 507 | 1098.5 | 1.69 |
| 40 | 666 | 1443 | 2.22 |
| 60 | 972 | 2106 | 3.24 |
| 70 | 1200 | 2600 | 4.00 |
| 110 | 1833 | 3971.5 | 6.11 |
